匣缽在半導體中的應用
匣缽的(de)耐高溫性能還是(shi)比較強的(de),應(ying)用也是(shi)很廣的(de),它在(zai)半導(dao)體中(zhong)(zhong)的(de)應(ying)用同樣也是(shi)很多,那么,該設備在(zai)半導(dao)體中(zhong)(zhong)是(shi)如(ru)何應(ying)用的(de)呢?下文為大家做了詳細解答:
1、匣缽是(shi)重要(yao)的(de)半(ban)(ban)導體(ti)輔材,廣泛應用于半(ban)(ban)導體(ti)加(jia)工,純石英材料由(you)于其耐溫(wen),耐酸,低膨脹和(he)良好的(de)管夠(gou)透(tou)過性的(de)特殊物理性能,滿足了半(ban)(ban)導體(ti)工業(ye)對載具材料中堿(jian)金屬和(he)重金屬含量的(de)苛刻要(yao)求,成為該領域中不(bu)可缺少的(de)材料。
2、材(cai)料貫穿了(le)半(ban)導(dao)體(ti)領域相(xiang)關(guan)產品制造的(de)(de)關(guan)鍵過程(cheng):匣缽(bo)用于提煉、清(qing)洗容器(qi)以(yi)及制作晶圓IC載體(ti);石英錠、石英筒是半(ban)導(dao)體(ti)制造擴散(san)、氧化、沉積、蝕刻工藝中(zhong)所用的(de)(de)法蘭、擴散(san)管、石英鐘罩的(de)(de)材(cai)料;合成石英錠是平板顯示(shi)技術(shu)中(zhong)關(guan)鍵部件光掩(yan)膜基板的(de)(de)主要基材(cai)。
之(zhi)所(suo)以匣缽能夠在(zai)半導(dao)(dao)(dao)體(ti)中的應用(yong)廣泛,主(zhu)要還是(shi)因為(wei)它的耐(nai)熱(re)性(xing),耐(nai)腐蝕性(xing)等一(yi)些(xie)性(xing)能,在(zai)半導(dao)(dao)(dao)體(ti)中,是(shi)符合半導(dao)(dao)(dao)體(ti)行業的應用(yong)要求的。